碳化硅制造过程产生粉尘的作业点较多。粉尘最大的作业点是冶炼干法扒料，分级。制粒车间空气中悬浮的粉尘粒度大致如下：5μm以下粒子占66.6~92.5%，10μm以上，占4.8%~22%。粉尘中sic占95%以上，sio2含量为0.35%~3.58%。对碳化硅车间进行技术改造。焦炭加工及制粒工序取密闭除尘方法，装炉工序采取湿料作业方法，获得了极付款效果

　　碳化硅微粉尘符合tj36-79中“其他粉尘”条件，即游离二氧化硅含量在10%以下，因此浓度标准可定为10mg/m³。车间空气中生产性粉尘最高容许浓度(tj36-79)有害物名称 最高容许浓度(mg/m³)，含有10%以上游离二氧化硅的粉尘(石英，石英岩等)① 2.0，石粉尘及含有10%以上石棉的粉尘2.0，含有10%以下的游离二氧化硅的滑石粉尘4.0，玻璃棉及矿渣棉粉尘5.0，含有10%以下游离二氧化硅的水泥粉尘6.0，烟草及茶叶粉尘3.0，含有10%以下游离二氧化硅的煤尘10，其他粉尘②10，铝，氧化铝，铝合金粉尘4.0，有80%以上游离二氧化硅的生产性粉尘，宜不超过1mg/m³。其他粉尘系指游离二氧化硅含量在10%以下，不含有毒物质的矿物性和动植物性粉尘。